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型号：BTF-1700C-CVD
设备特点：
此款1700℃耐高(gao)温(wen)CVD体(ti)系(xi)(xi)，是(shi)由1700度(du)管式炉(lu)、三路(lu)(lu)水(shui)平管理用(yong)(yong)户量计体(ti)系(xi)(xi)各种国产货高(gao)涡流度(du)体(ti)系(xi)(xi)（或配搭低涡流度(du)体(ti)系(xi)(xi)）所(suo)根据。此设施重点采用(yong)(yong):涡流度(du)或氛围(wei)音乐辊道窑、基(ji)片渡膜等标准(zhun)要求电加(jia)热温(wen)差较高(gao)的(de)检测(ce)生活(huo)环境(jing). 设施能力水(shui)平成长(zhang)期、水(shui)平管理不靠谱，温(wen)场(chang)平均(jun)，成分正(zheng)确，气(qi)路(lu)(lu)使用(yong)(yong)的(de)液晶🐷电视机屏触摸(mo)式接口(kou)，使人操(cao)作步骤不正(zheng)确简(jian)便、简(jian)单；设施的(de)每项(xiang)能力水(shui)平性能指标，30段可语言编程温(wen)控仪体(ti)系(xi)(xi)更(geng)多的(de)是(shi)明了,使某个检测(ce)的(de)执(zhi)行工作状态尽在您的(de)把控中去。
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加水(shui)区参(can)数(shu)设置(zhi)： | 炉管尽(jin)寸：Φ60/80×1000mm（通(tong)径要选） 升温构件：硅钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 热效率热效率：5.2 KW 宽度图宽度：610×440×720 mm 标准物品：高纯1支，2对，1套，2套，1副，1支，小保险公司1个； 胶(jiao)(jiao)封垫系统的：炉管两端(duan)可配304不(bu)锈钢胶(jiao)(jiao)封垫卡(ka)箍(gu)（具有高🌸(gao)精密针阀，指(zhi)南(nan)式高(gao)压气压力差(cha)表和橡胶(jiao)(jiao)软管式宝塔(ta)嘴直(zhi)接(jie)头） 网口可按其实食用映射(she)。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精(jing)度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作(zuo)压差(cha)范(fan)围：0.1～0.5 MPa 大(da)压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位(wei)数字显示 工(g♑ong)作(zuo)环(huan)境温(w🐷en)度:5~45高纯气(qi)体 ; 内外双抛不锈钢(gang)管(guan)：Φ6 压力(li)真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止(zhi)阀：Φ6 接(jie)连头(tou)方式(shi)：双卡套铝(lv)合金接(jie)线头(tou)。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国内自主研发高压油泵(beng)材质：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 24v电源：220v 50hz 马达额定(ding)功率：0.4kw 进改装排气管连接方式口：KF25 用油耗：1.1L 交流接触器转(zhuan)速比：1440rpm 做工(gong)(gong)作(zuo)室内环(huan)境工(gong)🌳(gong)作(zuo)温♕(wen)度：5-40℃ 燥声：≤56db 电阻真空计参数： 1.通用规管：ZJ-52T电容规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.预估路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.操(cao)作方(fang)试：继物品(pin)触头输出精(jing)度，负(fu)债意(yi)识 AC220V/3A (或DC28V/3🌊A)无感觉负(fu)债， 6.交流电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.输出功率： 20W 用于条纹管手動档板阀与真空箱软件(jian)相(xiang)通接(jie)。 |
高真空系统参数：
| 空气的相(xiang)对而言(yan)内(nei)部(bu)含水率：≤85% 事业电压：AC220V±10% 50/60HZ 工作功率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 造型面(mian)积：850×600×650mm 机械泵: 抽气(qi)传送速度：10m³/h 容剩余油(you)量：1.1L 三相异步(bu)电机最大功率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气传送速度：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 重新开启(qi)时间段(duan)：＜2min 载荷(he)系数转数：4300转/分 冷(leng)却(que)水(shui)形式：区域环境(✃jing)温湿度5-32℃时(shi)，风冷(leng)；5-40℃时(shi)，水(shui)冷(leng)散热。 分子泵控制器: 端电压：220V±22V 再启动感应电流：≤7A 录入频繁：47HZ—63HZ 大输(shu)入额定功率：≤150W 大迅速电流值：≤40V 1日子：≤3min 概率（双速）：公路705HZ±10HZ &nb꧙sp; 中速430HZ±5HZ 复合真空计: 测定路(lu)数：2路(lu)（电(dian)容(rong)规、电(dian)离规各1路(lu)） 工作任务玩法：速腾主动档/主动 电阻功率单元式数据 规管款式：ZJ-52T电(dian)阻功率规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离机组规格 规(gui)管(guan)规(gui)格(ge)型(x൩in✱g)号(hao)：ZJ-27电离(li)规(gui) 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气(qi)玩法：焦(jiao)耳(er)去气(qi) 任何主要参数 把控好路数：4路 抑制原则(ze)：点动或行政区域抑制/带掉电记录 掌控精确度：±1% 采样系统期限：1S 电源适配器：220V±10% 50HZ 功率：50W 适用周围环境气温：0℃~45℃ 相对湿度：≤85% 链接管线: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 进行水纹(wen)管半(ban)自动侧板阀与真空环境系统化连通接。 |
备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
